|
Книга ID: 294802
Математические модели термостабилизации полупроводниковых пластин газовой прослойкой для синтеза устройств в линиях фотолитографии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.18
Тематика, ключевые слова:
Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ.
Сведения об издании:
Воронеж 2001 233 с.
Язык:
rus
|
|