|
Книга ID: 246551
Процесс формирования субмикронного рисунка методом проекционной фотолитографии для изготовления СБИС ЗУ на ЦМД : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Москва 1993 165 с.
Язык:
rus
|
|