|
Книга ID: 2300949
Математические модели термостабилизации полупроводниковых пластин газовой прослойкой для синтеза устройств в линиях фотолитографии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.18 Воронеж. гос. технол. акад.
Тематика, ключевые слова:
Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ.
Сведения об издании:
Воронеж 2001 16 с.
Язык:
rus
|
|