|
Книга ID: 996732
Высокоразрешающая неорганическая фотолитография И. М. Гранкин, А. В. Коломейко, В. П. Погребняк
Тематика, ключевые слова:
Фотолитография. Микроэлектронные схемы интегральные - Производство.
Сведения об издании:
Киев Изд-во при Киев. ун-те 1983 53 с. 20 см
Язык:
rus
|
|