|
Книга ID: 996534
Конструктивно-технологические особенности изготовления структур с диэлектрической изоляцией В. В. Заика, К. М. Кролевец
Тематика, ключевые слова:
Микроэлектронные схемы интегральные - Производство. Микроэлектронные схемы интегральные - Изоляция.
Сведения об издании:
Киев о-во "Знание" УССР 1983 16 с. 20 см
Язык:
rus
|
|