|
Книга ID: 959962
Конструктивно-технологические особенности изготовления приборов с углубленной в кремний окисной изоляцией М. А. Шваенко
Тематика, ключевые слова:
Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство. МДП-структуры.
Сведения об издании:
Киев о-во "Знание" УССР 1982 19 с. 20 см
Язык:
rus
|
|