|
Книга ID: 9478
Выращивание легированных бором нитевидных кристаллов кремния для чувствительных элементов сенсоров : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 Воронеж. техн. ун-т
Тематика, ключевые слова:
Технология полупроводников и материалов электронной техники.
Сведения об издании:
Воронеж 1995 15 с.
Язык:
rus
|
|