|
Книга ID: 946217
Пятая Всесоюзная конференция по физико-химическим основам легирования полупроводниковых материалов, Москва, 6-8 дек. 1982 г. Тез. докл.
Тематика, ключевые слова:
Полупроводники - Легирование - Физико-химические основы.
Сведения об издании:
М. Б. и. 1982 244 с. 21 см
Язык:
rus
|
|