|
Книга ID: 940655
Импульсный отжиг полупроводниковых материалов А. В. Двуреченский, Г. А. Качурин, Е. В. Нидаев, Л. С. Смирнов; [Отв. ред. А. В. Ржанов]
Тематика, ключевые слова:
Полупроводники - Легирование ионное.
Сведения об издании:
М. Наука 1982 208 с. 21 см
Язык:
rus
|
|