|
Книга ID: 922044
Оборудование для ионной имплантации (Учеб. пособие по курсу "Проектирование элион. оборуд.") В. И. Дымович
Тематика, ключевые слова:
Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Оборудование. Полупроводники - Легирование ионное.
Сведения об издании:
М. МИЭТ 1981 63 с. 20 см.
Язык:
rus
|
|