|
Книга ID: 90794
Разработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 Моск. ин-т электронной техники
Тематика, ключевые слова:
Оборудование производства электронной техники.
Сведения об издании:
Москва 1997 22 с.
Язык:
rus
|
|