|
Книга ID: 906204
Шлюзовые системы в вакуумном оборудовании [Учеб. пособие] В. В. Одиноков
Тематика, ключевые слова:
Вакуумное оборудование. Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Применение вакуума.
Сведения об издании:
М. Высш. школа 1981 55 с. 20 см.
Язык:
rus
|
|