|
Книга ID: 905433
Автоматизированное проектирование линий и комплектов оборудования полупроводникового и микроэлектронного производства / В. В. Сысоев
Тематика, ключевые слова:
Полупроводниковые приборы - Производство - Оборудование. Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Оборудование.
Сведения об издании:
М. Радио и связь 1982 119 с. 21 см.
Язык:
rus
|
|