|
Книга ID: 904582
Некоторые особенности диффузии галлия при производстве кремниевых высоковольтных приборов (Препринт) В. В. Старков, К. Л. Фесюк, Н. И. Балякин, Г. И. Коханчик
Тематика, ключевые слова:
Полупроводниковые приборы - Производство. Кремний - Примеси - Диффузия.
Сведения об издании:
пос.Черноголовка (Моск. обл.) ИХФ 1981 18 с. 20 см.
Язык:
rus
|
|