|
Книга ID: 897704
Физические основы зарождения и роста тонких пленок Учеб. пособие по курсу "Технология интегр. микросхем" (для студентов спец. 0705) веч. обучения Обичкин Ю. Г.; Под ред. Черняева В. Н.
Тематика, ключевые слова:
Пленки тонкие - Получение. Микроэлектронные схемы интегральные - Производство.
Сведения об издании:
М. Б. и. 1981 39 с. 22 см.
Язык:
rus
|
|