|
Книга ID: 890804
Генераторы изображений в производстве интегральных микросхем / И. М. Глазков, Я. А. Райхман; Ред. Э. И. Точицкий
Тематика, ключевые слова:
Фотолитография. Микроэлектронные схемы интегральные - Производство.
Сведения об издании:
Минск Наука и техника 1981 144 с. 20 см.
Язык:
rus
|
|