|
Книга ID: 879857
Сборник научных трудов "Активируемые процессы технологии микроэлектроники" Моск. ин-т электрон. техники; [Отв. ред. Ю. Д. Чистяков]
Тематика, ключевые слова:
Микроэлектронные схемы - Производство - Сборники.
Сведения об издании:
М. МИЭТ 1980 123 с. 20 см.
Язык:
rus
|
|