|
Книга ID: 879653
Вакуум-термическое оборудование Разд. "Оборуд. для получения пленок в вакууме* Курс лекций для студентов спец. 0643 Л. В. Кожитов, И. Г. Блинов
Тематика, ключевые слова:
Вакуумные установки. Пленки тонкие - Получение.
Сведения об издании:
М. МИСИ 1980 (вып. дан. 1981) 68 с. 20 см.
Язык:
rus
|
|