|
Книга ID: 878893
Вакуум-термическое оборудование Разд. "Оборуд. для выращивания монокристаллов полупроводников методом Чохральского* Курс лекций для спец. 0643 Л. В. Кожитов, И. Г. Блинов
Тематика, ключевые слова:
Термические печи вакуумные. Монокристаллы - Выращивание.
Сведения об издании:
М. МИСИС 1980 (вып. дан. 1981) 71 с. 20 см.
Язык:
rus
|
|