|
Книга ID: 850264
Использование ионной технологии в процессах производства интегральных полупроводниковых схем (Учеб. пособие) Л. А. Коледов
Тематика, ключевые слова:
Полупроводники - Легирование ионное. Микроэлектронные схемы интегральные - Производство.
Сведения об издании:
М. МИЭТ 1979 (вып. дан. 1980) 30 с. 20 см.
Язык:
rus
|
|