|
Книга ID: 8446
Высокотемпературная ионная имплантация в кремний : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Рос. АН Сиб. отд-ние. Ин-т физ. полупроводников
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков.
Сведения об издании:
Новосибирск 1992 15 с.
Язык:
rus
|
|