|
Книга ID: 7418
Воздействие вакуумного ультрафиолетового излучения на поверхность неорганических и органических веществ, применяемых в микроэлектронике : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10; 05.27.01 АН СССР. Физ.-технол. ин-т
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков. Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах.
Сведения об издании:
Москва 1989 20 с.
Язык:
rus
|
|