|
Книга ID: 7418
Воздействие вакуумного ультрафиолетового излучения на поверхность неорганических и органических веществ, применяемых в микроэлектронике : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10; 05.27.01 АН СССР. Физ.-технол. ин-т
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков.
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах.
Сведения об издании:
Москва 1989
20 с.
Язык:
rus
Аннотация:
В этой диссертации Милка Иванова исследует влияние вакуумного ультрафиолетового излучения на поверхности неорганических и органических веществ, используемых в микроэлектронике. Она анализирует физические свойства полупроводников и диэлектриков, важные для разработки радиоэлектронных компонентов и микро-наноэлектроники на основе квантовых эффектов. Результаты исследований могут иметь важное значение для создания более эффективных электронных устройств.
|
|
