|
Книга ID: 7311
Влияние вторичных процессов на имплантацию подвижных примесей для модификации свойств металлов : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04 Ин-т электроники
Тематика, ключевые слова:
Физическая электроника.
Сведения об издании:
Ташкент 1990 23 с.
Язык:
rus
|
|