|
Книга ID: 7299
Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 Гос. ин-т электронной техники
Тематика, ключевые слова:
Технология полупроводников и материалов электронной техники.
Сведения об издании:
Москва 1994 15 с.
Язык:
rus
|
|