|
Книга ID: 670238
Физические основы технологии и формирования конденсированных сред : Учеб. пособие Л.А. Чеботкевич; М-во образования Рос. Федерации. Дальневост. гос. ун-т
Тематика, ключевые слова:
Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Теория -- Учебник для высшей школы.
Сведения об издании:
Владивосток Изд-во Дальневост. ун-та 2001 261 с. 20 см
Язык:
rus
|
|