|
Книга ID: 6686
Влияние атомарного водорода на свойства структуры Si-SiO2 : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 Рос. АН Ин-т проблем технол. микроэлектроники
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Черноголовка 1992 18 с.
Язык:
rus
|
|