|
Книга ID: 6411
Быстрый термический отжиг монокристаллов кремния, легированных ионами III-V- групп (As + , In + и As + / In + , P + / In+ ) : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Белорус. гос. ун-т им. В. И. Ленина
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков.
Сведения об издании:
Минск 1991 15 с.
Язык:
rus
|
|