|
Книга ID: 621113
Формирование электропроводящих структур с нанометровыми размерами / Пухов А.А., Рыжиков И.А.; Ин-т теорет. и прикл. электродинамики
Тематика, ключевые слова:
Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология производства -- Исследование -- Методы электронной микроскопии.
Антенны. Линии передачи -- Полосковые линии передачи -- Технология производства -- Исследование -- Методы электронной микроскопии.
Сведения об издании:
М. Объед. ин-т высок. температур РАН 2000
56 с. 20 см
Язык:
rus
|
|
