|
Книга ID: 616215
Рост и субструктура конденсированных пленок : Учеб. пособие В.М. Иевлев, А.В. Бугаков, В.И. Трофимов; М-во образования Рос. Федерации. Воронеж. гос. техн. ун-т
Тематика, ключевые слова:
Полупроводниковые материалы -- Полупроводниковые пленки -- Технология получения -- Теория -- Учебник для высшей школы. Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Нанесение покрытий -- Учебник для высшей школы.
Сведения об издании:
Воронеж Воронеж. гос. техн. ун-т 2000 386 с. 20 см
Язык:
rus
|
|