|
Книга ID: 606912
Пучки распыляющих ионов : Получение и применение А. П. Семенов; Рос. акад. наук. Сиб. отд-ние. Бурят. науч. центр. Отд. физ. проблем
Тематика, ключевые слова:
Радиоэлектронная аппаратура -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Пленочные покрытия -- Пособие для специалистов.
Физика -- Электричество и магнетизм -- Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях -- Электронная и ионная оптика -- Электронные и ионные пучки -- Методы получения -- Пособие для специалистов.
тонкие пленки-выращивание.
Сведения об издании:
Улан-удэ Изд.-во БНЦ СО РАН 1999
207 с. 21 см
Язык:
rus
|
|
