|
Книга ID: 59431
Низкотемпературная технология получения эпитаксиальных структур карбид кремния на изоляторе на основе композиции "SiC-AIN" : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 Санкт-Петербург. гос. электротехн. ун-т
Тематика, ключевые слова:
Технология полупроводников и материалов электронной техники.
Сведения об издании:
Санкт-Петербург 1997 16 с.
Язык:
rus
|
|