|
Книга ID: 588800
Физические основы конструирования оборудования микроэлектроники : Учеб. пособие Б.Н. Васичев; М-во общ. и проф. образования Рос. Федерации. Моск. гос. ин-т электроники и математики (Техн. ун-т)
Тематика, ключевые слова:
Микроэлектроника -- Технология производства -- Электронно-лучевая обработка -- Учебник для высшей школы.
Сведения об издании:
М. Моск. гос. ин-т электроники и математики 1999 78 с. 21 см
Язык:
rus
|
|