|
Книга ID: 573860
Вакуумные методы получения тонких пленок : Учеб. пособие А. Н. Головяшкин; М-во общ. и проф. образования Рос. Федерации. Пенз. гос. ун-т
Тематика, ключевые слова:
Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Выбор технологического варианта -- Учебник для высшей школы. вакуумные методы получения тонких пленок.
Сведения об издании:
Пенза Изд-во Пенз. гос. ун-та 1999 103, [4] с. 20 см
Язык:
rus
|
|