|
Книга ID: 573759
Спецглавы физики : Учеб. пособие для студентов II - IV курсов РЭВ направления "Электроника и микроэлектроника" В. М. Геллер, В. А. Хрусталев; М-во общ. и проф. образования РФ. Новосиб. гос. техн. ун-т
Тематика, ключевые слова:
Электронные приборы -- Технология призводства -- Электронная обработка -- Теория -- Учебник для высшей школы. плазменные процессы производства электронных приборов.
Сведения об издании:
Новосибирск Новосиб. гос. техн. ун-т 1999 52 с. 20 см
Язык:
rus
|
|