|
Книга ID: 562946
Эллипсометрия субмонослойных покрытий и приповерхностный слой твердых тел / Ю. И. Асалханов; РАН. Сиб. отд-ние. Бурят. науч. центр, Вост.-Сиб. гос. технол. ун-т
Тематика, ключевые слова:
Физика твердого тела -- Структура твердых тел -- Тонкие слои твердых тел -- Методы исследования. Полупроводниковые материалы -- Физические свойства -- Исследование. эллипсометрия.
Сведения об издании:
Улан-Удэ Изд-во ВСГТУ 1998 208 с. 21 см
Язык:
rus
|
|