|
Книга ID: 555944
Процессы и оборудование фотолитографической обработки : Учеб. пособие по курсу "Технол. процессы и оборуд. микроэлектроники" В. В. Ануфриенко; М-во общ. и проф. образования РФ. Моск. гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т)
Тематика, ключевые слова:
Микроэлектронная аппаратура -- Технология производства -- Оборудование -- Учебник для высшей школы. фотолитография.
Сведения об издании:
М. МИЭТ 1998 66 с. 20 см
Язык:
rus
|
|