|
Книга ID: 553673
Расчет режимов процесса легирования полупроводниковых материалов : Учеб. пособие для студентов спец. "Материалы и компоненты твердотел. электрон." и "Электрон. и микроэлектроника" В. И. Наумов, Г. Л. Гольденберг; М-во общ. и проф. образования РФ. Нижегор. гос. техн. ун-т
Тематика, ключевые слова:
Радиотехнические материалы -- Полупроводниковые материалы -- Технология производства -- Выбор и расчет технологического варианта -- Задачник для высшей школы.
легирование полуроводниковых материалов.
Сведения об издании:
Н. Новгород 1998
52 с. 20 см
Язык:
rus
|
|
