Изготовление электронных копий любых изданий

Физико-химические основы микроэлектроники и технологии радиоэлектронных средств : Учеб. пособие Е. В. Васильев, А. Ф. Мевис, О. В. Соколова; М-во общ. и проф. образования РФ. Моск. гос. ин-т радиотехники, электроники и автоматики (техн. ун-т)