|
Книга ID: 54654
Моделирование тепло- массопереноса и оптимизация газодинамических режимов в реакторах химического осаждения из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 Ин-т Микроэлектроники РАН
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Москва 1995 15 с.
Язык:
rus
|
|