|
Книга ID: 543473
Физические основы микротехнологии : Учеб. пособие Г. И. Липатов; М-во общ. и проф. образования РФ. Воронеж. гос. техн. ун-т
Тематика, ключевые слова:
Микроэлектроника -- Технология производства -- Учебник для высшей школы.
Сведения об издании:
Воронеж 1998 163 с. 20 см
Язык:
rus
|
|