|
Книга ID: 541176
Имплантация ионов в полупроводники : Учеб. пособие для студентов вузов Э. Т. Шипатов; Ульян. гос. ун-т
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников -- Дефекты -- Учебник для высшей школы. Физика полупроводников -- Электронные и ионные явления -- Учебник для высшей школы. имплантация ионов.
Сведения об издании:
Ульяновск 1998 199 с. 21 см
Язык:
rus
|
|