|
Книга ID: 54000
Механические свойства и структурные особенности аморфных пленок диоксида и нитрида кремния, осажденных из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников
Тематика, ключевые слова:
Физика твердого тела.
Сведения об издании:
Новосибирск 1989 21 с.
Язык:
rus
|
|