|
Книга ID: 48385
Моделирование и разработка технологических процессов и маршрутов формирования самосовмещенных биполярных транзисторных структур для сверхбыстродействующих СБИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 Ин-т электронной техники
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Москва 1994 24 с.
Язык:
rus
|
|