|
Книга ID: 48047
Моделирование и оптимизация процессов экспонирования и проявления фоторезистов : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 АН СССР. Физ.-технол. ин-т
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Москва 1990 17 с.
Язык:
rus
|
|