|
Книга ID: 47380
Математические и аппаратно-программные средства диагностики стеклопластин для высокоточных фотошаблонов и подложек интегральных схем на основе распределения поверхностного потенциала : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 Минский радиотехнический ин-т
Тематика, ключевые слова:
Технология полупроводников и материалов электронной техники.
Сведения об издании:
Минск 1991 15 с.
Язык:
rus
|
|