|
Книга ID: 46823
Макрокинетика газофазного осаждения покрытий из (Si-N-C) -материала на нагретую подложку : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.17 АН СССР. Ин-т хим. физики им. Н. Н. Семенова
Тематика, ключевые слова:
Химическая физика, в том числе физика горения и взрыва.
Сведения об издании:
Москва 1989 14 с.
Язык:
rus
|
|