|
Книга ID: 45237
Легирование слоев кремния в процессе низкотемпературной эпитаксии из молекулярного пучка : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Горьк. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков.
Сведения об издании:
Горький 1990 19 с.
Язык:
rus
|
|