|
Книга ID: 4172
Автоматизация способа Чохральского с использованием математических моделей малой размерности : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06 НИИ микроприборов
Тематика, ключевые слова:
Технология полупроводников и материалов электронной техники.
Сведения об издании:
Москва 1994 50 с.
Язык:
rus
|
|