|
Книга ID: 4134
Автоматизированная система управления дуговым источником многозарядных ионов с подогревным катадом и катодным распылением рабочего вещества : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.07 Инж.-физ. ин-т
Тематика, ключевые слова:
Автоматизация технологических процессов и производств ( в том числе по отраслям ).
Сведения об издании:
Москва 1993 19 с.
Язык:
rus
|
|