Прогнозирование параметров конструкций и технологических процессов изготовления МЭА : Учеб. пособие по курсу "Теорет. основы конструирования, технологии и надежности микроэлектрон. аппаратуры. (Для дневной и веч. форм обучения)
Фомин, Алексей Васильевич
1980
44 с.